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Principe du dépôt métallique PVD par arc
Les pièces à revêtir sont placées dans une enceinte sous vide (10-5 mbar) et montées à une température comprise entre 300 et 500°C.
Une fois la mise sous vide réalisée et la température atteinte, le métal constitutif du revêtement est sublimé à partir des cibles à l'aide d'un arc électrique et passe à un état gazeux fortement ionisé.
Ce métal ionisé est alors combiné avec différents gaz au sein d'un plasma pour former le composé recherché (ex. Ti*+ N*=> TiN*).
En créant une différence de potentiel avec les substrats à revêtir, les composés ainsi formés s'empilent pour former la couche du revêtement.
En fonction des métaux constitutifs (Titane, Aluminium, Chrome, Zirconium…) et des gaz utilisés (C2H2, N2...), DMX a la possibilité de former des couches plus ou moins complexes : TiCN, TiAlN, AlTiN, AlCrN, TiAlCN, TiAlCrN, ZrN, CrN, etc. afin de répondre aux contraintes de fonctionnement des outillages des clients.
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